振動と汚染を制御したクリーンルーム間配送
専用コンテナと厳格な取り扱い手順による、精密機器の確実な輸送と設置

顧客:半導体製造装置メーカー
課題 (Before)
微振動や汚染に非常に敏感な半導体製造装置の納入・設置を伴うプロジェクトにおいて、厳格な清浄度要件を満たすクリーンルーム環境内での設置が必須でした。輸送中や設置中に物理的な衝撃や粉塵が発生すると、装置の品質に影響が出るだけでなく、クリーンルーム環境が汚染され、再清掃が必要となり、生産スケジュールに大幅な遅延が生じる可能性がありました。そのため、輸送および設置プロセス全体を通して、極めて慎重な取り扱いが求められました。
NXソリューション(改善のポイント)
- 顧客の標準作業手順(SOP)に従い、温度制御機能を備えた専用コンテナを使用しました。出発前に、コンテナの状態確認と温度制御システムの起動テストを実施しました。
- 輸送中の垂直方向の振動を避けるため、専用コンテナは貨物機に直接積み込まれ、中間保管やパレット積み付けの工程が不要になった。
- クリーンルームへの搬入時には、粉塵や汚染を防ぐための厳格な手順が遵守され、必要な清浄度レベルを維持しながら機器が設置場所まで確実に輸送された。
ベネフィット
ベネフィット(Results)
日本通運は、輸送から設置までの全工程を管理することで、クリーンルーム環境を維持しながら納品を成功裏に完了させました。その結果、お客様は予定通りに新生産ラインを稼働させることができました。


